O-Ring损伤分析

离子体撞击 PLASMA DEGRADATION


描述

此密封件呈现变色,表面上还有被侵蚀的损伤与粉末残余。

促成的因素

  • 化学离子与电子的撞击
  • 不良的沟槽设计
  • 密封件与制程之化学性质不相容

建议改善方法

  • 使用能抵抗电离子的密封件
  • 检查沟槽的设计,以抵达遭受电离子的撞击
  • 使用可抗某些化学性质的产品

 


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